2021年6月9日，，，，，，九州酷游ku游登录平台（以下简称“九州酷游ku游登录平台公司”，，，，，，股票代码：688012）在上海总部举行电感耦合等离子体（ICP）刻蚀装备Primo nanova?第100台反应腔交付客户庆祝仪式。。。。。九州酷游ku游登录平台公司执行副总裁兼首席运营官杜志游博士、集团副总裁兼等离子刻蚀产品事业总部总司理倪图强博士、副总裁兼ICP刻蚀产品部总司理刘身健博士和其他焦点团队成员出席了庆祝仪式。。。。。
Primo nanova?是九州酷游ku游登录平台公司于2018年正式宣布的第一代电感耦合等离子体刻蚀装备。。。。。该装备接纳了九州酷游ku游登录平台公司具有自主知识产权的电感耦合等离子体刻蚀手艺，，，，，，具有对称的反应腔、超高分子泵抽速、奇异的低电容耦合线圈设计和多区细分温控静电吸盘等立异特征，，，，，，资助客户在存储芯片和逻辑芯片的批量生产中获得更好的工艺加工能力和更低的生产本钱。。。。。
现在，，，，，，九州酷游ku游登录平台公司Primo nanova?产品已乐成进入海内外十余家客户的晶圆生产线，，，，，，在领先的逻辑芯片、DRAM 和3D NAND厂商的生产线上实现大规模量产。。。。。在全球客户的信任和支持下，，，，，，九州酷游ku游登录平台公司第100腔Primo nanova?刻蚀装备的顺遂交付，，，，，，是公司ICP刻蚀产品营业生长新的里程碑，，，，，，标记着产品生长迈入新的阶段。。。。。
目今集成电路科技生长日新月异，，，，，，九州酷游ku游登录平台公司将继续在全球客户和工业链合作伙伴的支持下，，，，，，一连开发极具竞争优势的手艺和产品，，，，，，助力行业实现跨越式生长。。。。。
关于九州酷游ku游登录平台
九州酷游ku游登录平台（证券简称：九州酷游ku游登录平台公司，，，，，，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工装备和工艺手艺解决计划。。。。。九州酷游ku游登录平台公司开发的等离子体刻蚀装备和化学薄膜装备是制造种种微观器件的要害装备，，，，，，可加工微米级和纳米级的种种器件。。。。。这些微观器件是现代数码工业的基础，，，，，，它们正在改变人类的生产方法和生涯方法。。。。。九州酷游ku游登录平台公司的等离子体刻蚀装备已被普遍应用于国际一线客户从65纳米到5纳米工艺的众多刻蚀应用，，，，，，九州酷游ku游登录平台公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD装备已在客户生产线上投入量产，，，，，，现在已在全球氮化镓基LED MOCVD装备市场占有领先职位。。。。。
