2021年6月15日，， ，，，，九州酷游ku游登录平台（以下简称“九州酷游ku游登录平台公司”，， ，，，，股票代码：688012）首台8英寸甚高频去耦合反应离子（CCP）刻蚀装备Primo AD-RIE 200?顺遂付运客户生产线。。。。。。。。
（图为九州酷游ku游登录平台CCP刻蚀装备研发团队部分主要成员）
Primo AD-RIE 200?是九州酷游ku游登录平台公司自主研发的新一代8英寸甚高频去耦合反应离子（CCP）刻蚀装备。。。。。。。�；；；；； ；；谝驯灰到缙毡槿峡傻�12英寸CCP刻蚀装备的成熟工艺与特征，， ，，，，Primo AD-RIE 200?在手艺立异和生产效率方面都有了进一步提升，， ，，，，能够知足差别客户8英寸晶圆的加工需求。。。。。。。。为了提高生产效率，， ，，，，Primo AD-RIE 200?刻蚀装备可无邪设置多达三个双反应台反应腔（即六个反应台）。。。。。。。。别的，， ，，，，Primo AD-RIE 200?提供了可升级至12英寸刻蚀装备系统的无邪解决计划，， ，，，，以知足客户生产线未来可能扩产的需求。。。。。。。。
“Primo AD-RIE 200?是九州酷游ku游登录平台公司推出的用于8英寸晶圆加工的CCP刻蚀装备，， ，，，，富厚了九州酷游ku游登录平台公司现有的刻蚀装备产品线，， ，，，，是九州酷游ku游登录平台公司生长历程中又一主要里程碑。。。。。。。。九州酷游ku游登录平台公司不但聚焦于高端半导体装备领域，， ，，，，同时也提供其他多种装备以知足集成电路和泛半导体领域多样化的市场需求。。。。。。。。”九州酷游ku游登录平台公司副总裁兼CCP等离子体刻蚀产品部总司理苏兴才博士说道，， ，，，，“我们希望坚持致力于产品立异和手艺提升，， ，，，，一直知足客户的多样化需求，， ，，，，助力客户应对行业挑战。。。。。。。。”
关于九州酷游ku游登录平台
九州酷游ku游登录平台（证券简称：九州酷游ku游登录平台公司，， ，，，，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工装备和工艺手艺解决计划。。。。。。。。九州酷游ku游登录平台公司开发的等离子体刻蚀装备和化学薄膜装备是制造种种微观器件的要害装备，， ，，，，可加工微米级和纳米级的种种器件。。。。。。。。这些微观器件是现代数码工业的基�。。。。。。。。� ，，，，它们正在改变人类的生产方法和生涯方法。。。。。。。。九州酷游ku游登录平台公司的等离子体刻蚀装备已被普遍应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用，， ，，，，九州酷游ku游登录平台公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD装备已在客户生产线上投入量产，， ，，，，现在已在全球氮化镓基LED MOCVD装备市场占有领先职位。。。。。。。。
