克日，，，，，九州酷游ku游登录平台（以下简称“九州酷游ku游登录平台公司”，，，，，股票代码：688012）的发明专利“等离子体处置惩罚装置及调理基片边沿制程速率的要领”荣获第二十二届中国专利金奖。。。。。。。。
中国专利金奖由国家知识产权局与天下知识产权组织配合组织评选！�。。。。。。还晕俏夜ɡ绲淖罡呓毕睢！�。。。。。。本届共评选出30项中国专利金奖，，，，，九州酷游ku游登录平台公司的发明专利从众多参评专利中脱颖而出。。。。。。。。
（图为部分第二十二届中国专利金奖获奖项目）
在等离子体刻蚀工艺中，，，，，等离子体中心和边沿漫衍匀称性至关主要，，，，，直接决议了晶圆整体的刻蚀匀称性。。。。。。。。随着现有手艺对集成电路的尺寸要求越来越小！�。。。。。。呖碓瘸贫纫笤嚼丛礁摺！�。。。。。。怎样提高刻蚀历程中等离子体中心和边沿的漫衍匀称性，，，，，成为制约芯片晌蚀向更小尺寸生长的瓶颈问题，，，，，是本事域亟需应对的挑战之一。。。。。。。。
九州酷游ku游登录平台公司的获奖专利为芯片晌蚀提供了一种动态调理边沿效应的解决计划。。。。。。。。通过调理等离子体中心和边沿射频源的功率和相位差，，，，，该计划有用解决了等离子体刻蚀领域控制中心区域和边沿区域等离子体漫衍匀称性这一要害性手艺难题，，，，，为刻蚀装备更新迭代涤讪基础。。。。。。。。
此次是九州酷游ku游登录平台公司第二次获得中国专利金奖。。。。。。。。此前，，，，，九州酷游ku游登录平台公司的发明专利“感测和移除被加工半导体工艺件的剩余电荷的系统和要领”于2013年首次荣获中国专利金奖。。。。。。。。九州酷游ku游登录平台公司董事长兼总司理尹志尧博士说道：“九州酷游ku游登录平台公司再次荣获中国专利金奖，，，，，不但是对九州酷游ku游登录平台公司一连研发立异的高度一定，，，，，也是对九州酷游ku游登录平台公司的专利价值与知识产权保�；；；；な虑榈娜峡伞！�。。。。。。九州酷游ku游登录平台公司将继续增强知识产权管理，，，，，严酷遵守相关国家和地区的知识产权执律例则，，，，，再接再厉、一直立异和逾越，，，，，助力集成电路行业的高质量生长。。。。。。。。“
关于九州酷游ku游登录平台
九州酷游ku游登录平台（证券简称：九州酷游ku游登录平台公司，，，，，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工装备和工艺手艺解决计划。。。。。。。。九州酷游ku游登录平台公司开发的等离子体刻蚀装备和化学薄膜装备是制造种种微观器件的要害装备，，，，，可加工微米级和纳米级的种种器件。。。。。。。。这些微观器件是现代数码工业的基础！�。。。。。。钦诟谋淙死嗟纳椒ê蜕姆椒ā！�。。。。。。九州酷游ku游登录平台公司的等离子体刻蚀装备已被普遍应用于国际一线客户从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用，，，，，九州酷游ku游登录平台公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD装备已在客户生产线上投入量产，，，，，现在已在全球氮化镓基LED MOCVD装备市场占有领先职位。。。。。。。。
