九州酷游ku游登录平台半导体装备（上海）有限公司（以下简称“九州酷游ku游登录平台”）在本周举行的SEMICON China时代正式宣布了第一代电感耦合等离子体刻蚀装备Primo nanova?，，，，，用于大批量生产存储芯片和逻辑芯片的前道工序。 。。。。。该装备接纳了九州酷游ku游登录平台具有自主知识产权的电感耦合等离子体刻蚀手艺和许多立异的功效，，，，，以资助客户抵达芯片制造工艺的要害指标，，，，，例如要害尺寸（CD）刻蚀的精准度、匀称性和重复性等。 。。。。。其立异的设计包括：完全对称的反应腔，，，，，超高的分子泵抽速；；；；；；奇异的低电容耦合线圈设计和多区细分温控静电吸盘（ESC）。 。。。。。依附这些特征和其他奇异功效，，，，，该装备将为7纳米、5纳米及更先进的半导体器件刻蚀应用提供比其他同类装备更好的工艺加工能力，，，，，和更低的生产本钱。 。。。。。
九州酷游ku游登录平台Primo nanova?刻蚀机已获得多家客户订单，，，，，装备产品已陆续付运。 。。。。。九州酷游ku游登录平台首台Primo nanova?装备已在客户生产线上正常运行，，，，，良率稳固。 。。。。。现在公司正在和更多客户合作，，，，，举行刻蚀评估。 。。。。。在九州酷游ku游登录平台提供了一系列电容耦合等离子体刻蚀装备之后，，，，，这一电感耦合等离子体刻蚀新装备大大增强了九州酷游ku游登录平台的刻蚀产品线，，，，，能涵盖大大都芯片前段的刻蚀应用。 。。。。。 当今芯片制造所接纳的新质料、新的器件结构、双重模板以至四重模板工艺和其他新的手艺正在推动器件标准的一直缩小� 。。。。。�，，，，这使得芯片的制造越来越重大。 。。。。。九州酷游ku游登录平台开发Primo nanova? 时，，，，，充分思量了在这种苛刻的加工情形中，，，，，怎样使刻蚀抵达在晶圆片内更好的刻蚀匀称性和实时的控制能力、为芯片制造提供更宽的工艺窗口，，，，，以抵达客户日益提高的手艺要求，，，，，并实现较低的制造本钱。 。。。。。
“Primo nanova?接纳了当下先进的等离子体刻蚀手艺，，，，，为前沿客户提供更具立异、更无邪的解决计划。 。。。。。”九州酷游ku游登录平台副总裁兼等离子体刻蚀产品部总司理倪图强博士说道，，，，，“该装备不但能够用于多种导体刻蚀工艺，，，，，好比浅沟槽隔离刻蚀（STI）、多晶硅栅极刻蚀；；；；；；同时可用于介质刻蚀，，，，，如间隙壁刻蚀（Spacer Etch）、掩模浚�？？？ ？淌矗∕ask Etch）、回刻蚀（Etch Back）等，，，，，具有业界领先的生产率和卓越的晶圆内加工性能。 。。。。。这项基于电感耦合等离子体的刻蚀手艺既可以用于刻蚀笔直深孔，，，，，也可以用于刻蚀浅锥形轮廓。 。。。。。别的，，，，，由于这个装备占地面积小、镌汰了耗材的使用，，，，，有相当大的本钱优势。 。。。。。我们很是兴奋看到客户已经从该装备投入生产中获益。 。。。。。”
Primo nanova?的要害手艺特点和竞争优势
Primo nanova?以奇异的四方形主机、可设置六个刻蚀反应腔和两个除胶反应腔，，，，，它具有奇异的手艺立异和极高的生产效率。 。。。。。这些手艺立异点包括：
? 具有自主知识产权的低电容耦合线圈设计，，，，，能够对离子浓度和离子能量实现有用的自力控制，，，，，这对更高的选择性和软刻蚀至关主要；；；；；；
? 接纳了完全对称的反应腔设计、多区细分温控静电吸盘和动态晶圆边沿耦合控制，，，，，从而带来更好的匀称性。 。。。。。这种设计战胜了一直以来在量产中难以解决的晶圆边沿刻蚀的不匀称性问题；；；；；；
? 与同类装备相比具有超高的分子泵抽速，，，，，以实现更宽的工艺窗口和更准确的形貌控制；；；；；；
? 具有自主立异的等离子体增强型PVD特种质料的涂层、反应腔内壁温度的准确控制和对反应腔内外貌状态的优异控制，，，，，可实现更高的工艺稳固性并镌汰微粒。 。。。。。
倪图强博士进一步指出：“从客户的反响证实，，，，， Primo nanova?提供了我们预期抵达的晶圆加工能力和生产率，，，，，以及具有竞争优势的生产本钱。 。。。。。它也是一款多功效的装备，，，，，使用最少的设置调解就可以变换适用于多种加工工艺。 。。。。。”
Primo nanova?是九州酷游ku游登录平台公司的注册商标。 。。。。。
关于九州酷游ku游登录平台半导体装备（上海）有限公司
九州酷游ku游登录平台公司致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工装备和工艺手艺解决计划。 。。。。。九州酷游ku游登录平台通过立异驱动自主研发的等离子体刻蚀装备和硅通孔刻蚀装备已在国际主要芯片制造和封测厂商的生产线上普遍应用于45纳米到7纳米及更先进的加工工艺和先进的封装工艺。 。。。。。现在，，，，，正在亚洲地区40多条国际领先的生产线上运行的九州酷游ku游登录平台反应台（包括介质刻蚀、TSV和MOCVD）已快要800个。 。。。。。九州酷游ku游登录平台开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD装备不但已在客户生产线投入量产，，，，，并且已成为在蓝光LED市场占有率最大的领先装备。 。。。。。
