九州酷游ku游登录平台Primo SSC AD-RIE?已被客户用于16纳米要害闪存芯片加工的首选装备
上海和首尔2014年2月12日电 /美通社/ -- 九州酷游ku游登录平台半导体装备有限公司（简称“九州酷游ku游登录平台”）宣布获得韩国先进存储芯片生产厂商购置Primo SSC AD-RIE?（九州酷游ku游登录平台单反应台等离子体刻蚀装备）的重复订单。。。。。该装备被客户认可为用于16纳米要害闪存芯片加工的首选装备（PTOR），，，，，，， ，将用于大批量芯片生产。。。。。此前，，，，，，， ，九州酷游ku游登录平台的Primo SSC AD-RIE?通过客户生产线上严酷的验证，，，，，，， ，取得了比其他同类竞争产品越发优异的效果。。。。。九州酷游ku游登录平台现在正在和客户合作研究开发DRAM和3D NAND工艺。。。。。
九州酷游ku游登录平台单反应台等离子体刻蚀装备Primo SSC AD-RIE(TM)
九州酷游ku游登录平台副总裁兼韩国区总司理尹敬一体现，，，，，，， ，九州酷游ku游登录平台装备成为“PTOR”标记着九州酷游ku游登录平台取得了一项重大希望，，，，，，， ，他说道：“很显着，，，，，，， ，现在处于天下前沿的客户不但单想从供应商那儿寻找新装备，，，，，，， ，他们还希望能够为重大的生产历程带来的挑战寻谴责面解决计划。。。。。这就要求先进手艺和相关专业知识细密联系在一起，，，，，，， ，正是依赖这种模式，，，，，，， ，我们为该客户解决了生产历程中遇到的种种问题，，，，，，， ，使得客户的闪存芯片开发取得新的希望。。。。。”
Primo SSC AD-RIE?是九州酷游ku游登录平台Primo系列第三代、也是最新一代刻蚀装备产品，，，，，，， ，能够知足超高产能、优异的芯片加工质量和芯片晌蚀手艺可延展性等严苛的手艺要求。。。。。Primo SSC AD-RIE?的晶圆转达平台可设置多达6个单晶圆加工反应器，，，，，，， ，每个反应器可以自力地设定加工条件，，，，，，， ，从而无邪地实现精准的工艺控制。。。。。每个反应器有极高的抽速，，，，，，， ，并有多区气体漫衍、动态射频功率以及多区温度控制等可自力调理的工艺参数。。。。。而在线工艺微协调稳固的腔体设计阻止了高深宽比刻蚀工艺中常泛起的刻蚀阻止征象以及工艺飘移征象的爆发，，，，，，， ，从而提高刻蚀的重复性并更容易实现反应器之间的优异匹配，，，，，，， ，能够大大提高生产效率。。。。。
九州酷游ku游登录平台刻蚀装备的一大概害优势在于它的设置极具无邪性。。。。。它在统一个主机系统上可以配备双反应器实现高产出和低本钱，，，，，，， ，或者也可以配备单反应器以知足要害刻蚀工艺中高抽速等要求。。。。。这种设置的无邪性还体现在气体控制系统的装置上，，，，，，， ，他们既可以置于地面以便于维护，，，，，，， ，也可以置于装备上方以镌汰占地面积。。。。。
Primo SSC AD-RIE和Primo D-RIE是九州酷游ku游登录平台的注册商标。。。。。
关于九州酷游ku游登录平台半导体装备有限公司
九州酷游ku游登录平台公司致力于为全球半导体和LED芯片制造商提供领先的工艺手艺解决计划。。。。。公司等离子体刻蚀装备和硅通孔刻蚀装备已普遍应用于国际一线集成电路客户45纳米到1X纳米及更先进的芯片加工制造等。。。。。现在，，，，，，， ，九州酷游ku游登录平台已有240多个刻蚀反应机台在亚洲地区20多条国际领先的生产线上运行。。。。。九州酷游ku游登录平台开发的用于大批量LED外延片生产的MOCVD装备也已进入生产线运行。。。。。
