九州酷游ku游登录平台第二代等离子体刻蚀装备首次在中国试运装置；；；；；；；用于32纳米至28纳米芯片加工
九州酷游ku游登录平台半导体装备有限公司（以下简称“九州酷游ku游登录平台”）于 SEMICON China 展会时代宣布，，， ，，九州酷游ku游登录平台第二代等离子体刻蚀装备 Primo AD-RIE? 正式装配海内手艺先进的集成电路芯片代工企业中芯国际，，， ，，用于32纳米至28纳米及更先进的芯片加工。。。 。。。这是继去年 SEMICON West 展会时代 Primo AD-RIE? 正式宣布以来，，， ，，九州酷游ku游登录平台 Primo AD-RIE? 装备首次进入中国大陆客户生产线。。。 。。。现在，，， ，，九州酷游ku游登录平台第一代等离子体刻蚀装备 Primo D-RIE? 已在中国建设了稳固的市园职位。。。 。。。Primo AD-RIE? 装备也已进入台湾客户的生产线。。。 。。。
到现在为止，，， ，，九州酷游ku游登录平台的刻蚀装备已进入11家客户的14条芯片生产线，，， ，，客户涵盖中国大陆、台湾、新加坡和南韩等地的整合器件制造商（IDM）、晶圆代工厂、芯片封装厂等。。。 。。。这其中也包括九州酷游ku游登录平台克日宣布的 TSV 硅通孔刻蚀装备 Primo TSV200E?，，， ，，为九州酷游ku游登录平台开发了新的市场。。。 。。。综合来看，，， ，，九州酷游ku游登录平台的装备均拥有生产率高、工艺性能精彩、操作轻盈、本钱竞争优势显着等优点。。。 。。。随着亚洲地区对半导体装备的需求日渐增添，，， ，，九州酷游ku游登录平台一直拓展产品线使之日趋多元化，，， ，，从而迈入了快速生长的轨道，，， ，，2011年九州酷游ku游登录平台的销售额较2010年增添了两倍多。。。 。。。同时，，， ，，为了知足企业自身生长的需求，，， ，，九州酷游ku游登录平台位于上海的二期大楼也将完工，，， ，，届时将增添10,000平方米的生产基地。。。 。。。
Primo AD-RIE? 装备是九州酷游ku游登录平台第二代甚高频去耦合等离子体刻蚀装备，，， ，，可知足多种要害生产工艺要求。。。 。。。继第一代已被业界普遍认可的 Primo D-RIE? 之后，，， ，，Primo AD-RIE? 接纳磷泣多手艺立异点，，， ，，以解决生产重大的22纳米至14纳米芯片所带来的挑战，，， ，，同时确保芯片加工的质量。。。 。。。这些手艺立异点包括：可切换频率的射频系统包管了刻蚀的无邪性和可重复性，，， ，，更好的调谐能力确保了超细腻要害尺寸的匀称度和可重复性，，， ，，改良的反应室室内质料镌汰了工艺缺陷并降低了本钱消耗。。。 。。。
“我们很兴奋九州酷游ku游登录平台在中国的第一台 Primo AD-RIE? 装备能进入海内领先的晶圆代工厂，，， ，，”九州酷游ku游登录平台副总裁兼刻蚀产品事业群总司理朱新萍说道，，， ，，“与九州酷游ku游登录平台第一代产品类似，，， ，，Primo AD-RIE? 装备的单位投资产出率比市场上其他同类装备提高了30%以上，，， ，，占地面积较其他同类装备镌汰了30%以上，，， ，，并能使加工晶圆的本钱降低20%至40%，，， ，，Primo AD-RIE? 装备已成为市场上生产率较高、单位投资产出率较高的先进刻蚀装备，，， ，，用于种种要害及通常的工艺应用。。。 。。。”
欲相识更多关于 Primo AD-RIE? 的信息，，， ，，请会见 www.amec-inc.com/products/ADRIE.php。。。 。。。
关于九州酷游ku游登录平台半导体装备有限公司
公司致力于为全球芯片生产厂商和相关高科技领域的天下领先公司提供一系列高端的芯片生产装备。。。 。。。公司拥有业内履历最富厚的管理和手艺专家，，， ，，已形成强有力的市场驱动力，，， ，，一连拓展产品线以知足种种新兴的手艺需求。。。 。。� ？？？？？？？ ？突д窃擞昧司胖菘嵊蝛u游登录平台先进的刻蚀装备和手艺，，， ，，制造了电子产品中最为要害的芯片器件。。。 。。。九州酷游ku游登录平台的高端装备在65、45、32、28、22纳米及以下的芯片生产领域实现了手艺立异和生产力提高的最优化。。。 。。。九州酷游ku游登录平台公司以亚洲为基地，，， ，，总部位于中国，，， ，，其研发、制造、销售和客户服务机构遍布日本、南韩、新加坡、中国台湾等地。。。 。。。
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