九州酷游ku游登录平台半导体装备（上海）有限公司（以下简称“九州酷游ku游登录平台”）于本周 SEMICON West 时代宣布面向22纳米及以下芯片生产的第二代300毫米甚高频去耦合反应离子刻蚀装备 -- Primo AD-RIE?。。。。。�；；；；；；谝驯灰到缫欢ǖ� Primo D-RIE? 刻蚀装备，，，，，，九州酷游ku游登录平台 Primo AD-RIE 应用了更多手艺立异性来解决高端芯片重大生产历程带来的挑战，，，，，，同时包管了芯片加工的质量。。。。。这些手艺立异包括：先进的射频系统包管了刻蚀历程的稳固性和可重复性，，，，，，更好的调谐能力确保了超细腻的要害尺寸匀称度，，，，，，更优异的反应室内壁质料以降低缺失来提高产品良率。。。。。
同前一代产品类似，，，，，，偕行业标准相比，，，，，，Primo AD-RIE 实现了35%到50%的资源效率增益，，，，，，总体拥有本钱降低20%至40%，，，，，，越发紧凑的产品设计 -- 占地面积比同类较大装备小至少30%，，，，，，这些都使得 Primo AD-RIE 成为目今半导体装备市场上较高产出率、较低生产本钱的先进刻蚀装备。。。。。
产品将于今年第三季度付运。。。。。第一台 Primo AD-RIE 将进入亚洲一流芯片代工厂。。。。。九州酷游ku游登录平台 Primo D-RIE 装备将继续用于22纳米以上的芯片晌蚀加工和部分22纳米以下刻蚀工艺的加工。。。。。
关于芯片厂，，，，，，九州酷游ku游登录平台新装备投放市场的时机同样是他们面临挑战的时刻。。。。。各晶圆厂一连扩大规模和新质料的整合带来了手艺上的障碍，，，，，，而一直攀升的资笔僻出本钱影响着利润。。。。。关于刻蚀装备厂商来说，，，，，，这就意味着要加速生产加工装备的立异程序，，，，，，使之更先进、更稳固、更可靠，，，，，，但同时又应当简朴化并降低本钱。。。。。这是九州酷游ku游登录平台的较佳驻足点，，，，，，也是九州酷游ku游登录平台至今已有凌驾30台装备进入亚洲9家客户（其中包括了天下顶级的晶圆生产厂商）的制胜点。。。。。为了进一步知足市场需求，，，，，，九州酷游ku游登录平台正在中国扩大生产能力。。。。。今年，，，，，，九州酷游ku游登录平台将在台湾竹南地区完成建设新的组装和测试厂房设施。。。。。
“客户都想要最新、先进的加工手艺，，，，，，然而他们对生产本钱的思量却比以往都更敏感，，，，，，”九州酷游ku游登录平台公司副总裁、刻蚀产品部总司理朱新萍说，，，，，，“Primo AD-RIE 为先进的要害工艺加工带来了手艺立异和生产力提高的最优化，，，，，，客户可以接纳更进取的工艺战略，，，，，，而不必担心会以生产效率为价钱。。。。。新老客户都对九州酷游ku游登录平台产品体现了极大的兴趣。。。。。”
Primo AD-RIE 基于 Primo D-RIE，，，，，，具有更多突破性手艺立异
Primo AD-RIE 在增进九州酷游ku游登录平台第一代刻蚀装备手艺立异的同时，，，，，，又大大扩大了其自身的加工领域。。。。。该装备的主要部分是一组立异的少量反应台反应器的簇架构，，，，，，可以无邪地装置多达三个双反应台反应器，，，，，，以抵达较佳芯片加工输出量。。。。。每个反应器都可以实现单芯片或双芯片加工。。。。。奇异的反应器腔体设计融合了九州酷游ku游登录平台专有的等离子体聚焦和喷淋头手艺，，，，，，确保了芯片加工的质量。。。。。Primo AD-RIE 的一些基本特征使其更具备28纳米以下要害刻蚀加工的能力，，，，，，这些基本特征包括：除了已有的60兆赫兹射频以外，，，，，，2-13.5兆赫兹可切换射频使 Primo AD-RIE 加工规模越发普遍，，，，，，奇异的射频输入和对称漫衍改善了等离子密度的匀称漫衍，，，，，，三区气体漫衍和双调谐气体提高了刻蚀的匀称度和调谐性，，，，，，静电吸盘双区冷却装置提高了晶片温度的可调性并极大改善了晶圆片的刻蚀匀称度。。。。。
系统特点和优势：
·去耦合反应离子刻蚀实现了离子浓度和离子能量的自力控制；；；；；；；
·奇异的甚高频射频输入和对称漫衍可在大批量生产情形中仍能确保实现重复性效果的精准控制；；；；；；；
·具有自主知识产权的等离子体聚焦使刻蚀历程更为稳固可靠，，，，，，有更宽泛的工艺窗口；；；；；；；
·每个反应台自力的射频爆发器、各反应台匀称度的划分控制和刻蚀终点控制，，，，，，使每片晶圆可以在自力的反应情形中被刻蚀处置惩罚；；；；；；；
·从底部供能的高频射频提供了稳固、低压、高密度度的等离子体，，，，，，坚持 low-k 质料的完整性；；；；；；；
·具有自主知识产权的、具有快速、稳固、可靠的调谐能力的自隔离射频匹配装置；；；；；；；
·反应腔内壁选用高纯度、耐等离子特殊质料，，，，，，开发了较佳的质料加工历程，，，，，，大大降低了消耗，，，，，，将杂质微粒数降到较低；；；；；；；
·电阻上电极直接加热处置惩罚的闭环控制为一连的芯片加工历程提供了准确、快速的温度控制；；；；；；；
·双反应台反应器的簇架构，，，，，，可设置多达六个单芯片加工反应台，，，，，，即在较小的占地面积上获得很高的输出量；；；；；；；
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关于九州酷游ku游登录平台半导体装备（上海）有限公司
九州酷游ku游登录平台公司是以亚洲为基地的半导体装备公司。。。。。公司致力于为全球芯片生产厂商和相关高科技领域的天下领先公司提供一系列高端的芯片生产装备。。。。�？ ？？？ ？？突д窃擞昧司胖菘嵊蝛u游登录平台先进的刻蚀装备和手艺，，，，，，制造了电子产品中最为要害的芯片器件。。。。。九州酷游ku游登录平台的高端装备在65、45、32、28、22纳米及以下的芯片生产领域实现了手艺立异和生产力提高的最优化。。。。。九州酷游ku游登录平台公司总部位于上海，，，，，，其研发、制造、销售和客户服务机构遍布日本、南韩、中国台湾、新加坡等地。。。。。
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Primo D-RIE 和 Primo AD-RIE 均为九州酷游ku游登录平台公司注册商标。。。。。
