Primo SSC AD-RIE?是九州酷游ku游登录平台于2013年推出的单反应台电介质刻蚀产品 ，，，，，，，在Primo AD-RIE?产品手艺和Primo平台看法的基础上 ，，，，，，，通过在一个平台上集成六个单反应台以优化产能。。。。。。。除了可自力输运气体的单反应台腔体设计以外 ，，，，，，，为应对2x纳米以下特殊是接触孔刻蚀等要害制程的挑战 ，，，，，，，该装备还具有以下特征：同步脉冲射频系统、可冷却聚焦环工艺组件和甚低压气体抽运系统等。。。。。。。Primo SSC AD-RIE有利于处置惩罚多层薄膜刻蚀的微负载问题、极端边沿形貌问题以及接触孔刻蚀的终端控制问题。。。。。。。Primo SSC AD-RIE已在主流客户16纳米芯片生产线上稳固量产。。。。。。。
为26到10纳米芯片制造提供立异的刻蚀解决计划
具有自力气体输运系统的单反应台腔体设计
多区气体调理以及双区静电吸盘温度控制
高抽气率 ，，，，，，，大容量分子泵
双级同步脉冲射频系统（低频和高频）
可冷却聚焦环工艺组件 ，，，，，，，提升晶圆边沿性能
高上下电极面积比 ，，，，，，，以应用于高深宽比结构刻蚀
高电介质质料刻蚀速率 ，，，，，，，多手段刻蚀匀称度调理
双级同步脉冲射频系统
先进气体抽运系统 ，，，，，，，以进一步扩大工艺窗口
中高深宽比结构刻蚀的低本钱解决计划
