作為九州酷游ku游登录平台公司自主研發的產出效率高且性能優秀的12英寸CVD金屬鎢設備，，，，，Preforma Uniflex?CW可靈活设置多達五個雙反應臺的反應腔，，，，，每個反應腔皆能同時加工兩片晶圓，，，，，在保證較低的生產本钱和化學品消耗的同時，，，，，實現較高的生產效率。。。。。。。Preforma Uniflex?CW配備了完全擁有自主知識產權的優化混氣计划,自主設計優化的分氣抽氣系統和真空卡盤，，，，，具有優秀的薄膜均一性、填充能力和工藝調節靈活性，，，，，對於彎曲度較大的晶圓，，，，，它也具備优异的工藝處理能力。。。。。。。並且其優異的階梯覆蓋率和填充能力，，，，，可以滿足先進邏輯器件、DRAM和3D NAND中接觸孔以及金屬鎢線的填充應用需求。。。。。。。