作為九州酷游ku游登录平台第一代電介質刻蝕產品，，，，，，Primo DRIE ? 是12英寸雙反應臺多反應腔主機系統，，，，，，可靈活裝置多達三個雙反應臺反應腔（六個反應臺）。。。。。。。 每個反應腔都可以同時加工兩片晶圓。。。。。。。 該設備運用了九州酷游ku游登录平台具有自主知識產權的創新技術，，，，，，包括甚高頻和低頻混淆射頻去耦合反應电浆源、电浆隔離環、以及用於控制腔體內反應環境的先進工藝組件。。。。。。。 Primo DRIE刻蝕設備可用於加工包括氧化矽、氮化矽及低介電係數膜層等所有的電介質資料。。。。。。。 Primo DRIE於2007年發佈之後，，，，，，由於其較低的生產本钱、較高的生產效率和優异的晶片加工效能，，，，，，已在國際主流晶片生產線上投入量產。。。。。。。