Primo AD-RIE ? 是九州酷游ku游登录平台第二代電介質刻蝕產品。。。。。 基於已被認可的Primo D-RIE ? 刻蝕設備，，，，，Primo AD-RIE應用了具有自主知識產權的新設計，，，，，配備了可切換雙低頻射頻源，，，，，優化了上電極氣流分佈以及下電極溫控系統。。。。。 為了優化生產效率，，，，，Primo AD-RIE系統同樣可以靈活地裝置多達三個雙反應臺反應腔（即六個反應臺）。。。。。 Primo AD-RIE具備能够滿足新一代晶片器件製造需求的先進效能，，，，，現時已被廣泛應用於40到14納米後段制程。。。。。
别的，，，，，九州酷游ku游登录平台基於Primo AD-RIE開發了子系列產品Primo AD-RIE-e和Primo AD-RIE-cr。。。。。 Primo AD-RIE-e配備了自主研發的四區動態靜電吸盤，，，，，每一制程步驟可獨立進行控溫，，，，，以達到更高的刻蝕均勻度和刻蝕選擇比，，，，，現時已應用於5納米前段和中段的掩膜層刻蝕的開發及量產。。。。。 Primo AD-RIE-cr配備了擁有自主知識產權塗層科技的抗腐蝕反應腔，，，，，可應對電介質資料、金屬及金屬氧化物資料複雜結構的刻蝕要求。。。。。
為40到7納米晶片製造提供創新的刻蝕解決计划
雙反應臺腔體設計具有更高的產出效率
雙低頻功率切換系統，，，，，用於制程分步驟優化
脈衝射頻系統選項
多區氣體分派調節系統
靜電吸盤雙區冷卻裝置
低金屬污染工藝組件選項
每一步驟可獨立進行控溫的四區動態靜電吸盤（Primo AD-RIE-e）
擁有自主知識產權塗層科技的抗腐蝕反應腔（Primo AD-RIE-cr）
一體綜合的除膠能力及外貌電荷减除能力（Primo iDEA ? 系統）
雙低頻率分步驟切換系統，，，，，以適用於更廣的制程範圍（特別是Trench/Via All-in-one制程）
優异的工藝可調性和穩定性，，，，，以滿足先進工藝標準
高生產效率，，，，，低生產本钱（CoO）
擴展機型Primo AD-RIE-e，，，，，Primo AD-RIE-cr和Primo iDEA ?，，，，， 可應用於差别特
