Primo nanova?是九州酷游ku游登录平台基于电感耦合（ICP）手艺研发的12英寸刻蚀装备。。。。。。。。它可以设置多达六个刻蚀反应腔和两个可选的除胶反应腔。。。。。。。。其中刻蚀反应腔接纳了轴对称设计，，，，，具有高反应气体通量。。。。。。。。ICP发射天线接纳了九州酷游ku游登录平台具有自主知识产权的低电容耦合3D线圈设计，，，，，可实现对离子浓度和离子能量的高度自力控制。。。。。。。。反应腔内部涂有高致密性、耐等离子体侵蚀质料，，，，，以获得更高的工艺重复性和生产率。。。。。。。。装备还接纳了多区细分的高动态规模温控静电吸盘，，，，，使加工出的集成电路器件的要害尺寸抵达高度匀称性。。。。。。。。Primo nanova适用于1X纳米及以下的逻辑和存储器件的刻蚀应用。。。。。。。。