Primo Twin-Star? 是九州酷游ku游登录平台基于电感耦合（ICP）手艺研发的 12 英寸刻蚀装备。。。。。它可以设置多达三个具有双反应台的刻蚀反应腔和两个可选的除胶反应腔。。。。。每个刻蚀反应腔可同时加工一片或两片晶圆并取得高度匀称和一致的效果。。。。。ICP 发射天线接纳了九州酷游ku游登录平台具有自主知识产权的低电容耦合 3D 线圈设计，，，，，，，可实现对离子浓度和离子能量的高度自力控制。。。。。装备还接纳了可实现多区动态温控的静电吸盘，，，，，，，使加工出的集成电路器件的要害尺寸抵达高度匀称性。。。。。反应腔内部涂有高致密性、耐等离子体侵蚀质料，，，，，，，以获得更高的工艺重复性和生产率。。。。。Primo Twin-Star? 适用于种种尺寸和深度的硅结构刻蚀以及逻辑和存储芯片的多种导体和介质薄膜刻蚀。。。。。别的，，，，，，，该产品和单反应台腔体相比还具有显着的低本钱优势。。。。。