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九州酷游ku游登录平台具有自主知识产权的MOCVD装备可设置多达4个反应腔, ,,,,,可以同时加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片, ,,,,,工艺能力还能延展到生长6英寸和8英寸外延晶片。 。。。 。每个反应腔都可以自力控制, ,,,,,这一设计可以实现优异的生产无邪性。 。。。 。PRISMO D-BLUE?是首台被主流LED生产线接纳并举行大批量LED和功率器件外延片生产的国产MOCVD装备。 。。。 。

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PRISMO D-BLUE®

首台被主流LED生产线接纳并举行大批量LED外延片生产的国产MOCVD装备

产品特点

可自力控制的反应腔运行模式

自主的实时监控系统

精准的参数控制

全自动化处置惩罚

切合半导体标准的软件控制系统

竞争优势

优异的工艺重复性, ,,,,,简化工艺调解需求, ,,,,,提高产品良率

19英寸大尺寸托盘极大地提高了装备单位产能, ,,,,,降低了生产本钱

集成顶盖升降机构, ,,,,,简化装备维护, ,,,,,提高装备使用率

切合SEMI S2清静标准, ,,,,,提升装备的清静性能

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