







九州酷游ku游登录平台具有自主知识产权的MOCVD装备可设置多达4个反应腔,,,,,,可以同时加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片,,,,,,工艺能力还能延展到生长6英寸和8英寸外延晶片。。。。。每个反应腔都可以自力控制,,,,,,这一设计可以实现优异的生产无邪性。。。。。PRISMO D-BLUE?是首台被主流LED生产线接纳并举行大批量LED和功率器件外延片生产的国产MOCVD装备。。。。。

首台被主流LED生产线接纳并举行大批量LED外延片生产的国产MOCVD装备
可自力控制的反应腔运行模式
自主的实时监控系统
精准的参数控制
全自动化处置惩罚
切合半导体标准的软件控制系统
优异的工艺重复性,,,,,,简化工艺调解需求,,,,,,提高产品良率
19英寸大尺寸托盘极大地提高了装备单位产能,,,,,,降低了生产本钱
集成顶盖升降机构,,,,,,简化装备维护,,,,,,提高装备使用率
切合SEMI S2清静标准,,,,,,提升装备的清静性能


