Primo AD-RIE?是九州酷游ku游登录平台第二代电介质刻蚀产品。。。。。。�；；；；；；； ；谝驯蝗峡傻腜rimo D-RIE?刻蚀装备，，，，，，，Primo AD-RIE应用了具有自主知识产权的新设计，，，，，，，配备了可切换双低频射频源，，，，，，，优化了上电极气流漫衍以及下电极温控系统。。。。。。。为了优化生产效率，，，，，，，Primo AD-RIE系统同样可以无邪地装置多达三个双反应台反应腔（即六个反应台）。。。。。。。Primo AD-RIE具备能够知足新一代芯片器件制造需求的先进性能，，，，，，，现在已被普遍应用于40到14纳米后段制程。。。。。。。
别的，，，，，，，九州酷游ku游登录平台基于Primo AD-RIE开发了子系列产品Primo AD-RIE-e和Primo AD-RIE-cr。。。。。。。Primo AD-RIE-e配备了自主研发的四区动态静电吸盘，，，，，，，每一制程办法可自力举行控温，，，，，，，以抵达更高的刻蚀匀称度和刻蚀选择比，，，，，，，现在已应用于5纳米前段和中段的掩膜层刻蚀的开发及量产。。。。。。。Primo AD-RIE-cr配备了拥有自主知识产权涂层手艺的抗侵蚀反应腔，，，，，，，可应对电介质质料、金属及金属氧化物质料重大结构的刻蚀要求。。。。。。。
为40到7纳米芯片制造提供立异的刻蚀解决计划
双反应台腔体设计具有更高的产出效率
双低频功率切换系统，，，，，，，用于制程分办法优化
脉冲射频系统选项
多区气体分派调理系统
静电吸盘双区冷却装置
低金属污染工艺组件选项
每一办法可自力举行控温的四区动态静电吸盘 （Primo AD-RIE-e）
拥有自主知识产权涂层手艺的抗侵蚀反应腔 （Primo AD-RIE-cr）
一体整合的除胶能力及外貌电荷减除能力 （Primo iDEA?系统）
双低频率分办法切换系统，，，，，，，以适用于更广的制程规模（特殊是Trench/Via All-in-one制程）
优异的工艺可调性和稳固性，，，，，，，以知足先进工艺标准
高生产效率，，，，，，，低生产本钱（CoO）
扩展机型Primo AD-RIE-e, Primo AD-RIE-cr 和 Primo iDEA?，，，，，，，可应用于差别特殊制程
